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靜電與潔凈室
來源:互聯(lián)網 作者:admin 日期:2014年08月05日 訪問次數(shù):

在生活中,時時刻刻都存在著靜電。但我們尤其關注潔凈室中的靜電,因為潔凈室內使用的很多材料是絕緣非導電的材料,很容易帶上靜電,而且潔凈室內生產的產品又大多數(shù)是對靜電敏感的產品,因此,潔凈室中需對靜電進行防護。

現(xiàn)在,我們先來看一下潔凈室的概念。在半導體、平面液晶顯示器、光電子和生物醫(yī)藥的生產都需要潔凈的生產車間。通常潔凈室是指空間空氣懸浮粒子濃度被控制在規(guī)定界限內的房間或限定空間,這塵埃粒子的粒徑越小和被限定的粒數(shù)越小,潔凈度便越高。

潔凈室內的靜電
①由于潔凈室的潔凈度要求,潔凈室內很多材料摩擦容易起電帶電,不易泄漏釋放。

潔凈室內材料的電壓

材料名稱

電壓范圍

光刻間塑料地面

500V~1000V

擴散間塑料地面

500V~1500V

瓷磚地面

500V~1500V

塑料墻紙

700V

塑料頂棚

OV~1000V

金屬活動皮椅面

500V~3000V

②人穿潔凈工作服、鞋、步行或工作時,與不同物質設備器材摩擦要產生靜電,人、衣服、鞋都會帶電。

人穿尼龍衣、塑料膠底鞋緩慢地在清潔的地板上走動,人身上帶7000V~8000V靜電壓。
在乙烯基地板上行走可帶1200V(10%~20%RH)、250V(65%~90%RH)。

在地毯上行走可帶35000V(10%~20%RH)、1500V(65%~90%RH)。

晶片裝配線,人穿的工作服可達10KV。

③大量的絕緣器材、裝備和工具,也是重要的靜電電荷源。

④空調氣流經過初效過濾器、中效過濾器、高效過濾器、凈化出口氣流是帶靜電的。
總之:潔凈室的潔凈度要求越高,靜電帶電的現(xiàn)象就可能越嚴重,對靜電的防護要求也相應地越高。

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